压力传感器是能够感知压力信号并根据一定规则将压力信号转换成可用输出电信号的装置或装置。
在选择压力传感器时,必须考虑其综合精度。但是,对压力传感器精度有哪些影响?事实上,造成传感器误差的因素有很多。接下来,我们将讨论四种不可避免的误差,即传感器的初始误差。
第一个是偏移误差:由于压力传感器的垂直偏移在整个压力范围内保持不变,传感器排列的变化和激光调整校正将产生偏移误差。
第二是灵敏度误差:误差的大小与压力成正比。如果设备的灵敏度高于典型值,则灵敏度误差将是压力的递增函数。如果灵敏度低于典型值,则灵敏度误差将是压力的递减函数。造成这个错误的原因是扩散过程中的变化。
第三是线性误差:这是一个对压力传感器初始误差影响很小的因素。这种误差是由硅片的物理非线性引起的。然而,对于带有放大器的传感器,还应考虑放大器的非线性。线性误差曲线可以是凹曲线,也可以是凸曲线。
最后是滞回误差:在大多数情况下,压力传感器的滞回误差是完全可以忽略的。原因是硅片具有较高的机械刚度,一般只需要考虑压力变化较大时的滞后误差。
压力传感器的这四个误差是不可避免的。我们只能选择高精度的生产设备,使用最新的技术来减少这些误差。另外,可以在工厂进行一定的误差校准,可以尽可能地减少误差,满足客户的需求。